ACCUEIL

Consignes aux
auteurs et coordonnateurs
Nos règles d'éthique
Autres revues >>

Instrumentation, Mesure, Métrologie

1631-4670
Revue des Systèmes
 

 ARTICLE VOL 10/1-2 - 2010  - pp.155-173  - doi:10.3166/i2m.10.1-2.155-173
TITRE
Profilométrie des propriétés élastiques de couches minces transparentes par interférométrie acoustique ultrarapide

TITLE
Depth profiling of elastic properties of transparent thin films by ultrafast acoustic interferometry

RÉSUMÉ
Les recherches que nous présentons portent sur la caractérisation de couches nanométriques présentant des inhomogénéités dans leurs propriétés élastiques à l’échelle submicronique. Des matériaux diélectriques à faible constante de permittivité (dits low-k) de grand intérêt en microélectronique sont étudiés par ultrasons laser grâce à un montage pompe sonde. Nous présentons les propriétés mécaniques et optiques de telles structures qui sont caractérisées par une distribution de porosité à l’échelle nanométrique. Les résultats obtenus grâce à ces techniques optoacoustiques sont comparés aux valeurs trouvées grâce à d’autres techniques et des phénomènes de gradients de propriétés mécaniques sont discutés. Outre ces aspects applicatifs, ces systèmes présentent également un intérêt fondamental puisque peu d’expériences ont été réalisées sur les systèmes poreux nanostructurés.

ABSTRACT
In this communication, we present results dealing with non destructive testing performed on nano-films presenting an inhomogeneity in their elastic properties. The samples presented here, called “low-k” are on the basis of the microelectronics development as they exhibit a low dielectric coefficient 0r. Thanks to a pump-probe setup, we investigated the optical and elastic properties of such structures characterised by a distribution of pores at the nanoscale. The results obtained with this opto-acoustic method were compared to those obtained by other methods and the observed gradient in the elastic modulus is discussed. Further to its numerous applications, these systems present a great fundamental interest for physics as very little experiments have been carried on nano-porous systems.

AUTEUR(S)
Charfeddine MECHRI, Pascal RUELLO, jean-marc BRETEAU, mikhail BAKLANOV, Patrick VERDONCK, Vitaly GUSEV

MOTS-CLÉS
acoustique picoseconde, mésoporeux, nanoporeux, matériaux low-k, diffusion Brillouin, gradient du module de Young, inhomogénéité élastique.

KEYWORDS
picosecond acoustics, mesoporous, nanoporous, Low-k films, Brillouin scattering, Young modulus gradient, elastic inhomogneity.

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

 PRIX
• Abonné (hors accès direct) : 12.5 €
• Non abonné : 25.0 €
|
|
--> Tous les articles sont dans un format PDF protégé par tatouage 
   
ACCÉDER A L'ARTICLE COMPLET  (509 Ko)



Mot de passe oublié ?

ABONNEZ-VOUS !

CONTACTS
Comité de
rédaction
Conditions
générales de vente

 English version >> 
Lavoisier