ACCUEIL

Consignes aux
auteurs et coordonnateurs
Nos règles d'éthique
Autres revues >>

Instrumentation, Mesure, Métrologie

1631-4670
Revue des Systèmes
 

 ARTICLE VOL 11/3-4 - 2011  - pp.9-26  - doi:10.3166/i2m.11.3-4.9-26
TITRE
Élaboration de microélectrodes par techniques originales basées sur la « lithographie douce »

TITLE
Microélectrodes elaboration by original technologies based on "soft lithography"

RÉSUMÉ

La lithographie douce et plus particulièrement la technique de microtamponnage sont utilisées ici dans le but de fabriquer des microélectrodes pouvant servir à l’élaboration de microcapteurs. Deux voies originales sont décrites, l’une basée sur le pelage localisé d’une couche métallique à l’aide d’un adhésif et l’autre sur la croissance localisée d’une couche métallique electroless. Il est montré que ces deux procédés permettent la reproduction de motifs à l’échelle micrométrique.



ABSTRACT

Soft lithography and more especially microcontact printing are used to fabricate microelectrodes for the development of microsensors. Two original processes based either on localized peeling of a metal layer or on localized growing of a metal layer are described. The reporting of micrometric patterns is illustrated.



AUTEUR(S)
Stéphane COTTE, Abdellatif BARAKET, François BESSUEILLE, Stéphane GOUT, Nourdin YAAKOUBI, Didier LÉONARD, Abdelhamid ERRACHID

MOTS-CLÉS
lithographie douce, microtamponnage, pelage, microfabrication, electroless, métallisation localisée, électrodes.

KEYWORDS
soft lithography, microcontact printing, peeling, microfabrication, electroless, localized metallization, electrodes.

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

 PRIX
• Abonné (hors accès direct) : 12.5 €
• Non abonné : 25.0 €
|
|
--> Tous les articles sont dans un format PDF protégé par tatouage 
   
ACCÉDER A L'ARTICLE COMPLET  (11,37 Mo)



Mot de passe oublié ?

ABONNEZ-VOUS !

CONTACTS
Comité de
rédaction
Conditions
générales de vente

 English version >> 
made by WAW Lavoisier