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Instrumentation, Mesure, Métrologie

1631-4670
Revue des Systèmes
 

 ARTICLE VOL 11/3-4 - 2011  - pp.27-44  - doi:10.3166/i2m.11.3-4.27-44
TITRE
Caractérisation d’oxyde de titane mésoporeux par ondes de Love

TITLE
Characterization of mesoporous titania using Love wave sensors

RÉSUMÉ

Nous proposons une méthode de caractérisation du module de rigidité de films minces mésoporeux en fonction du taux d’humidité ambiant, à l’aide d’un dispositif couplant ondes de Love et porosimétrie ellipsométrique. Les isothermes de sorption présentent une forme de type IV dans la classification BET. L’influence de l’humidité adsorbée sur le comportement mécanique du film mésoporeux est tout d’abord mise en évidence en le supposant constant lors des simulations. Les variations du module de rigidité du film mésoporeux en fonction du taux d’humidité sont ensuite calculées à l’aide d’une procédure d’ajustement de courbe entre les résultats expérimentaux et un modèle numérique dédié modélisant la propagation des ondes de Love dans la structure.



ABSTRACT

We present a method to characterize the stiffness of mesoporous thin films under humidity exposure by using a Love wave device together with ellipsometric porosimetry. The sorption isotherms show a type IV shape according to the BET classification. At first, the influence of the sorbed humidity on the mechanical behavior of the mesoporous film is demonstrated by considering the stiffness as a constant for simulations. The variations of the stiffness of the mesoporous film are then computed as a function of the humidity level, thanks to a curve-fitting procedure of the experimental results with a dedicated numerical model of Love wave propagation in the device.



AUTEUR(S)
Laurianne BLANC, Angélique TETELIN, Grégory TORTISSIER, Cédric BOISSIÈRE, Corinne DEJOUS, Dominique REBIÈRE

MOTS-CLÉS
caractérisation, matériaux mésoporeux, ondes de Love, ellipsométrie.

KEYWORDS
characterization, mesoporous materials, Love waves, ellipsometry.

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

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