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Instrumentation, Mesure, Métrologie

1631-4670
Revue des Systèmes
 

 ARTICLE VOL 1/1-2 - 2001  - pp.69-99
TITRE
« Les ondes thermiques » : sondes de la matière à l’échelle microscopique.

TITLE
Thermal waves : probes for matter at the microscopic scale

RÉSUMÉ

Après avoir rappelé les concepts de base de la génération d’ondes thermiques dans les solides et de leur détection par photoréflexion, nous montrons à travers quelques exemples l’apport fondamental de ces techniques. Dans le domaine de la science des matériaux, ces méthodes donnent accès aux propriétés thermiques de matériaux complexes. En microélectronique, elles délivrent des cartographies de température de résolution submicronique sur des circuits en fonctionnement. Enfin, nous concluons sur les développements récents de techniques offrant la possibilité de mesurer les propriétés thermo-élastiques avec une résolution spatiale comparable à celles obtenues par photoréflexion.

ABSTRACT

We develop the basic concepts of the generation and photoreflectance detection of thermal waves in solids and illustrate their fundamental interest through various examples. In material science, these techniques give access to the thermal properties of complex materials. Applied to electronics, they provide thermal maps of integrated circuits under bias with submicronic resolutions. As a conclusion, we present new techniques which offer the possibility to measure thermo-elastic properties with excellent spatial resolutions.

AUTEUR(S)
Danièle FOURNIER, Julien JUMEL, François LEPOUTRE, Gilles TESSIER

MOTS-CLÉS
ondes thermiques, photoréflexion, diffusivité thermique.

KEYWORDS
thermal waves, photoreflectance, thermal diffusivity.

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

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