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Instrumentation, Mesure, Métrologie

1631-4670
Revue des Systèmes
 

 ARTICLE VOL 5/1-2 - 2005  - pp.33-43
TITRE
Mesure de champ de déplacement micrométrique d'une surface par corrélation de sa topographie

RÉSUMÉ

On présente dans cet article un dispositif expérimental permettant la mesure de champs de déplacements plan et hors-plan de surfaces observées en réflexion. Il est basé sur un interféromètre de type Nomarski, que l'on utilise avec deux prismes de Wollaston introduisant des décalages différents. La topographie de la surface peut alors être reconstruite et partagée en surface moyenne et rugosité. Le champ de déplacement hors-plan est obtenu par différence des surfaces moyennes, alors que le champ de déplacement plan est obtenu par intercorrélation de la rugosité.

ABSTRACT

We present an experimental set-up that allows us to measure in-plane and out-ofplane displacement fields of surfaces in reflection microscopy. This set-up is based upon a Nomarski shear-interferometer, which is used with two different Wollaston prisms. The real topography of the object is deduced and divided into mean surface and roughness. The out-of-plane displacement field is obtained by difference of mean surfaces, while the in-plane displacement field is deduced from the cross-correlation of the roughness.

AUTEUR(S)
Fabien AMIOT, François HILD, Jean-Paul ROGER

MOTS-CLÉS
mesure de champ cinématique, interférométrie Nomarski, corrélation d'images nu- mériques, capteurs micromécaniques, biocapteurs.

KEYWORDS
full-field measurement, Nomarski interferometry, digital image correlation, mi- cromechanical sensors, biosensors. RS-I2M - 5/2005. Mesures à l'échelle du micromètre, pages 33 à 43

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

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