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Instrumentation, Mesure, Métrologie

1631-4670
Revue des Systèmes
 

 ARTICLE VOL 5/1-2 - 2005  - pp.107-129
TITRE
Microcapteurs à structures mobiles pour la détection d'espèces gazeuses

RÉSUMÉ

L'utilisation de couches sensibles déposées sur des microstructures vibrantes permet la réalisation de capteurs chimiques à très haute sensibilité. En mesurant la fréquence de résonance de ces structures, il est possible de déterminer les variations de masse liées à la présence de substances gazeuses adsorbées par la couche sensible. Dans cet article, le principe physique et la technologie d'élaboration de telles microstructures vibrantes sont d'abord présentés. Ensuite, à partir de mesures de détection de vapeur d'éthanol, l'influence de la fréquence de résonance et de l'épaisseur de la couche sensible sur les performances du capteur (sensibilité, limite de détection, temps de réponse) sont étudiées.

ABSTRACT

The use of sensitive coating deposited on resonant microstructures enables to achieve high sensitivity chemical sensors. By measuring their resonant frequency, mass variations can be determined in order to deduce gaseous substances sorbed by the sensitive coating. In this paper, the physical and technological principles of such resonant microstructures are depicted. Then, based on vapour ethanol detections, the influence of the resonant frequency and sensitive coating thickness on the sensor performances (sensitivity, limit of detection, time response) are studied.

AUTEUR(S)
Ludivine FADEL, Frédéric LOCHON, Isabelle DUFOUR, Olivier FRANÇAIS

MOTS-CLÉS
capteur chimique, micropoutre, fréquence de résonance, détection de gaz, microsystèmes.

KEYWORDS
chemical sensor, microcantilever, resonant frequency, gas detection, MEMS.

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

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