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Instrumentation, Mesure, Métrologie

1631-4670
Revue des Systèmes
 

 ARTICLE VOL 15/3-4 - 2016  - pp.139-152  - doi:10.3166/i2m.15.3-4.139-152
TITRE
Mesure de coefficient de qualité d’un micro résonateur dans le domaine temporel. Étude de la réalisation en circuit intégré

TITLE
Measurement of the quaity coefficient of a micro resonator in the time domaine. Study of integrated circuits

RÉSUMÉ

La méthode de détermination du coefficient de qualité (Q) de résonateurs MEMS ici proposée est basée sur une mesure effectuée dans le domaine temporel et sur une architecture compatible avec la technologie des circuits intégrés. Ainsi, il est possible d’intégrer le circuit de mesure sur la même puce que le résonateur, ce qui permet de suivre l’évolution du composant au cours de sa vie, donc d’anticiper ses défaillances. Une conception originale reposant sur la technologie CMOS 0 ,35 μm est introduite, afin d’atténuer les imperfections majeures des blocs fonctionnels. De plus, un des objectifs étant d’augmenter la fréquence de travail, les simulations ont montré que ce paramètre peut aller jusqu ’à 200 kHz, avec une précision de mesure de 0,3 %.



ABSTRACT

The method for determining the quality factor (Q) of MEMS resonators proposed here is based on a measurement carried out in the time domain and also on a compatible architecture with integrated circuit technology. Thus, it is possible to integrate the measurement circuit on the same chip as the resonator, which tracks the component changes during it s life, so to anticipate its failures. An original design based on the 0.35μm CMOS technology is introduced to mitigate the major flaws of the functional blocks. In addition, one of the objectives being to increase the operating frequency, the simulations showed that this parameter can be up to 200 kHz, with a measuring accuracy of 0.3%.



AUTEUR(S)
Xiaojiao REN, Ming ZHANG, Nicolas LLASER

MOTS-CLÉS
mesure de coefficient : de qualité, technologie CMOS, circuits intégrés, micro résonateur, mesure temporelle, domaine temporel, mesure in-situ

KEYWORDS
quality factor measurement, CMOS technology, integrated circuits, micro-resonator, time measurement, time-domain measurement, in-situ measurement

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

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